마이크로입자의 레이저 Ablation으로 형성된 나노입자의 수퍼소닉 적층법을 이용한 퍼멀로이 나노구조박막 적층에 관한 연구
윤의중, 정명희
A Study on the Deposition of Permalloy Nanostructured Thin Film Utilizing Supersonic Deposition of Nanoparticles Formed by Laser Ablation of Microparticles
,
J Electr Electron Mater 2005;18(5):478-483.
Published online: May 1, 2005