초록

본 연구는 CNT:ZnO 가스 센서에서 ZnO 코팅이 감응 특성에 미치는 영향의 연구하였다. 나노 ZnO 분말은 수열합성법으로 제조하였고, CNT:ZnO는 나노 ZnO와 CNT를 볼밀하여 얻었다. CNT에 대한 나노 ZnO 분말의 몰비는 0~10%로 변화시켰다. CNT:ZnO 가스센서는 알루미나 기판 위에 스크린프린팅으로 제조하였다. CNT:ZnO의 구조와 입형은 XRD, EDS, SEM 그리고 TEM을 이용하여 조사하였다. XRD 결과, CNT:ZnO 나노 분말은 육방정계의 결정구조로 (002)면의 주피크가 관찰되었다. TEM 결과, CNT의 직경은 약 28 nm로 나타났다.

Abstract

The effects of ZnO coating on the sensing properties of CNT:ZnO based gas sensors were studied for H2S gas. The nano ZnO sensing materials were grown by hydrothermal reaction method. CNT:ZnO was prepared by ball-mill method. The mole range of nano ZnO coating on CNT surface was from 0 to 10%. The CNT:ZnO gas sensors were fabricated by a screen printing method on alumina substrates. The structural and morphological properties of the CNT:ZnO sensing materials were investigated by XRD, EDS, SEM and TEM. The XRD patterns showed that CNT:ZnO powders with hexagonal structure were grown with (002) dominant peak. The diameter of CNT from TEM was about28 nm.

• Keywords: CNT, ZnO, H2S, Ball-mill