본 연구에서는 제작된 가스센서에 대해서 가스를 반복적으로 검출하기 위해서 센서에 흡착된 가스는 효율적으로 제거해야 한다. 센서에 흡착된 가스를 제거하기 위해서는 센서에 150[℃]의 열을 가하게 되는데, 가해진 열이 센서 내에서 어떻게 확산되어 가는지를 확인하기 위해서 COMSOL 해석 프로그램을 이용하여 열의 확산 과정을 확인하였다. 열의 확산과정을 해석하기 위해서 MWCNT 가스센서의 구조체를 2차원으로 모델링을 진행하였으며, 제시된 모델링에 대해서 센서 구성 부분에 대해서 재료를 지정하고, 재료의 물성 값을 제시하여 유한요소법(FEM)을 이용하여 제시된 MWCNT에 대해서 열이 확산되는 정도를 알기 위해서 PDE (partial differential equation) Method에 의해서 지배방정식을 제시하여 해석하였다.
Generally, MWCNT, with thermal, chemical and electrical superiority, is manufactured with CVD (Chemical Vapor Deposition). Using MWCNT, it is comonly used as gas sensor of MOS-FET structure. In this study, in order to repeatedly detect gases, the author had to effectively eliminate gases absorbed in a MWCNT sensor. So as to eliminate gases absorbed in a MWCNT sesor, the sensor was applied heat of 423[K], and in order to observe how the applied heat was diffused within the sensor, the author interpreted the diffusion process of heat, using COMSOL interpretation program. In order to interpret the diffusion process of heat, the author progressed modeling with the structure of MWCNT gas sensor in 2-dimension, and defining heat transfer velocity(u=△T/△χ), accorded to governing equation within the sensor, the author proposed heat transfer mechanism.
