초록

플렉서블 기판상에 증착된 투명전도막(TCO)의 간략화된 패터닝의 한 방법으로, 레이저 직접 식각 방법이 폴리카보네이트(PC)기판상에 증착된 TCO 박막들에 대해 적용되었다. 다양한 Nd:YVO4 레이저 빔 조건에 대하여, TCO 박막의 종류에 따른 식각 특성의 차이는 박막 내 결합에너지의 차이로 인하여 야기된다 가정할 수 있었다.

Abstract

As a method of simple patterning of transparent conductive oxide (TCO) films deposited on flexible substrates, laser direct etching was carried out on TCO films sputtered on polycarbonate (PC) substrates. As a result of different binding energies in TCO films, indium tin oxide (ITO) and indium gallium zinc oxide (IGZO) were more easily etched than zinc oxide with different Nd: YVO4 laser beam conditions.

• Keywords: TCO, transparent conductive oxide, Laser direct etching, PC, polycarbonate, Nd:YVO4, Binding energy